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성공사례-실용신안

기판 표면 마그네틱 이물질 제거장치(FOREIGN MATERIAL REMOVER APPARATUS)

페이지 정보

작성자 관리자 작성일 조회504회

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실용신안 출원일자 : 2008.10.08

실용신안 등록일자 : 2010.08.26

실용신안 등록번호 : 20-0450044-0000



본 고안은 각종 기판자재 특히, 청정룸 내에서의 글래스와 같은 기판에 부착된 금속이물질을 제거하기 위한 기판 표면 마그네틱 이물질 제거장치에 관한 것으로서, 본 고안은 마그네트를 이용한 마그네틱 바아를 채용함에 있어, 이물질 제거를 위한 장소나 승강장치에 후면이 고정되는 복수의 브라켓과, 이 브라켓의 하면에 체결부재를 매개로 결합되는 체결블록 내에 Nd(네오디늄)등 강자성체로 이루어진 단면이 사각형인 마그네틱 바아로 이루어지고, 상기 체결블록은 상기 마그네틱 바아의 적어도 2개의 측면을 커버하되, 상기 마그네틱 바아의 상측면에 대응하는 체결블록의 상부 내측면에는 길이방향을 따라 오목 형성된 방열구가 일체로 형성된 것을 특징으로 하여, 마그네틱 바아와 방열구를 갖는 체결블록 이용한 이물질 제거장치에 의하면, 방열구를 갖는 체결블록이 그 내부의 자성체를 감싸고 있어, 마그네틱 바아를 외부 충격으로부터 보호함과 동시에 고온의 기판으로부터 흡열된 상승열을 방열작동시키는 작용상의 효과로 인해, 마그네틱 바아에 니켈, 티타늄(Titanium), 금, 은 등을 선택적으로 도금하거나 내성이 강한 합성수지 등을 코팅하더라도 수명이 거의 반영구적으로 할 수 있는 효과가 있다.  마그네틱 바아, 체결블록, 방열구, 브라켓

대표변리사

김순웅

정진국제특허법률사무소 상담문의 02-6677-7612