CMP슬러리용 필터장치(Filter for CMP slurry)
CMP슬러리용 필터장치(Filter for CMP slurry)
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작성자 관리자 작성일 조회993회관련링크
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실용신안 출원일자 : 2004.08.03
실용신안 등록일자 : 2004.10.22
실용신안 등록번호 : 20-0366383-0000
본 고안은 다공성 필터매체를 포함하는 CMP 슬러리여과용 필터장치에 관한 것으로 CMP슬리리 여과용 필터장치의 유량 및 사용주기를 증가 시키기 위하여, 유입수, 유출수포트 및 벤트포트와 드레인포트가 있는 통상의 필터장치 구조에 있어서 벤트포트 와 드레인포트를 없애고 유입수 포트와 유출수포트만으로 구성하되, 거기에 유체분산을 원활히 하기 위한 부재인 유체분산용 돌출판을 필요한 개수만큼 하우징의 상부에 설치함으로서 하우징에 미치는 전단력이나 유입액의 침강시간을 최대한 줄이고 이로 인해 필터장치의 사용주기(기간)를 길어지게 한다.
고문변리사 문경진 |
정진국제특허법률사무소 상담문의 02-6677-7612 |